Le géant néerlandais des équipements de semi-conducteurs ASML Holding NV a officiellement confirmé l'expédition de son second système de lithographie ultraviolette extrême à haute ouverture numérique (High-NA EUV) EXE:5000 à un leader mondial de la fabrication de puces. Cette livraison d'un équipement évalué à environ 350 millions d'euros marque une étape charnière pour la fabrication en série de processeurs d'intelligence artificielle gravés sous le seuil des 2 nanomètres.

Le système EXE:5000 intègre une optique anamorphique de pointe développée en partenariat avec l'opticien allemand Carl Zeiss. En faisant passer l'ouverture numérique de 0,33 à 0,55, la machine atteint une finesse d'impression critique de 8 nanomètres, ce qui autorise la gravure de transistors ultra-denses en une seule exposition lumineuse, évitant le recours au coûteux multi-patterning.

Franchir la frontière des 2 nanomètres grâce à l'optique 0,55 NA

Les géants du secteur, dont Intel, TSMC et Samsung, mènent une intense rivalité pour installer ces outils dans leurs usines pilotes. L'adoption du High-NA est indispensable pour concevoir la prochaine génération de puces graphiques et d'accélérateurs neuronaux indispensables à l'IA générative.

Sur le plan logistique, le transport de cette machine monumentale exige plus de 250 caisses sécurisées, des conteneurs à atmosphère contrôlée et quatre vols cargos Boeing 747 spécialement affrétés depuis les salles blanches de Veldhoven.

“Le High-NA EUV est la pierre angulaire qui permet de prolonger la loi de Moore durant la prochaine décennie, offrant à nos clients l'échelle géométrique requise pour les architectures d'IA.”

Enjeux géopolitiques et suprématie européenne dans le silicium

ASML détenant un monopole mondial absolu sur la lithographie EUV commerciale, l'entreprise se trouve au cœur des tensions technologiques mondiales. Les restrictions occidentales à l'exportation interdisant la livraison de ces machines à la Chine renforcent la valeur stratégique de chaque unité livrée.

L'installation et le calibrage de l'appareil prendront environ six mois. Le fondeur sélectionné compte valider ses procédés en 2025 pour amorcer la production commerciale à grande échelle à la fin de l'année 2026.

Sources